一、仪器自身因素
1.原理误差
激光粗糙度仪是基于激光干涉或激光散斑等原理进行测量的。如果对测量原理的理解和应用存在偏差，会导致测量结果不准确。例如，在采用激光散斑法时，散斑的对比度、大小和分布等参数的设置和处理不当，可能会使计算出的表面粗糙度参数出现偏差。
激光干涉法中，干涉条纹的清晰度和对比度对测量精度有很大影响。如果环境因素导致干涉条纹质量下降，如空气湍流、温度梯度等，会使测量结果产生误差。
2.校准不准确
仪器在使用前需要进行校准，以确保测量的准确性。如果校准过程中使用的校准样块不准确，或者校准操作不正确，会使仪器产生系统性误差。例如，校准样块表面的粗糙度值本身不准确，或者在校准过程中仪器与样块之间的接触状态不稳定，都会影响仪器的校准效果。
长时间使用后，仪器的光学元件、传感器等部件可能会出现老化、变形等情况，需要定期重新校准。如果没有及时校准，仪器的测量精度会逐渐下降。
3.分辨率限制
激光粗糙度仪有一定的分辨率限制，即它能够分辨的最小表面特征尺寸。如果被测表面的微观不平度尺寸小于仪器的分辨率，仪器将无法准确地测量这些细节，导致测量结果不够精确。例如，对于一些纳米级别的微观结构，普通粗糙度仪可能无法准确测量其粗糙度。
二、被测物体因素
1.表面特性
被测物体的材料类型和表面处理方法对测量结果有显著影响。不同材料的光学性质不同，如反射率、折射率等，会影响激光在表面的传播和反射，从而影响测量信号的强度和准确性。例如，金属材料的反射率一般较高，而非金属材料的反射率较低，这可能导致相同粗糙度的情况下，测量信号的强度不同。
表面的颜色也会对测量产生影响。深色表面吸收激光的能力较强，可能会使测量信号减弱，影响测量结果的准确性。此外，表面处理方式，如镀层、涂层、热处理等，会改变表面的微观结构和光学性质，进而影响测量结果。
被测表面的微观几何形状也很重要。如果表面存在陡峭的坡度、深槽或尖锐的边缘，可能会导致激光束无法完*覆盖或聚焦在这些区域，从而使测量结果出现偏差。
2.表面清洁度
被测表面的油污、灰尘、水分等污染物会对粗糙度仪的测量结果产生很大的影响。污染物会改变表面的光学特性，使激光的反射和散射变得不规则，导致测量信号失真。例如，表面的油污会使激光散射增加，降低反射光的强度，从而使测量的粗糙度值偏大。
三、环境因素
1.温度
温度变化会对激光粗糙度仪的性能和被测物体的尺寸产生影响。对于仪器本身，温度变化可能会导致光学元件的热胀冷缩，改变激光的光路和焦点位置，从而影响测量精度。例如，在温度升高时，仪器的光学镜片可能会膨胀，使激光束的聚焦点发生偏移。
对于被测物体，温度变化会引起材料的热胀冷缩，改变被测表面的尺寸和微观结构。特别是对于一些热膨胀系数较大的材料，如塑料、橡胶等，温度变化对测量结果的影响更为明显。
2.湿度
高湿度环境可能会导致被测表面吸附水分，改变表面的光学性质和微观结构。同时，湿度还可能影响仪器的电子元件和光学元件的性能，导致测量误差。例如，在潮湿的环境中，电子元件可能会出现漏电、短路等问题，影响仪器的正常工作。
3.振动和噪音
测量环境中的振动源，如附近的机械设备、交通等产生的振动，会干扰仪器的测量过程。振动可能会导致激光束的位置发生变化，使测量信号不稳定，从而影响测量结果的准确性。此外，环境中的电磁噪音也可能干扰仪器的电子系统，影响测量数据的采集和处理。
